Тадқиқотнинг илмий янгилиги қуйидагилардан иборат: илк бор қотишма-эритмага қўшимча қотишма-эритмани қўшиш тезлиги билан аниқланадиган киришмаларнинг тақсимот профилли А3В5 ярим ўтказгич бирикмалари эпитаксиал қатламини ўстиришнинг ноизотермик усули таклиф қилинган ва ўстириладиган эпитаксиал қатлам қалинлиги бўйича киришмалар тақсимоти физик-технологик моделлаштирилган.