Ushbu bitiruv malakaviy ishining asosiy maqsadi kremniyning tarkibiga qiyin eruvchi ya’ni Si<Hf> elementining legirlanish,termik ishlov berish va xosil bo‘lgan qo‘shimcha qatlamlari parametrlariga MT-22 elektron nurlatgichning tez elektronlar nurlanishining ta’sirini va o‘stirishpaytida va diffuziya usulida gafniy atomlari kiritilgan kremniyga radiatsionnurlarning ta’sirini o‘rganishga bag‘ishlangan.