Cиғимли спектроскопия ёрдамида қийин эрувчи Zr, Ti ва Hf атомлари билан легирланган кремнийнинг электрофизик хоссалари ва ушбу элементлар атомларининг кремний таркибидаги аралашмалар билан ўзаро таъсирини, ҳамда кремний асосидаги металл-диэлектрик-яримўтказгич (МДЯ) структураларнинг хоссаларига таъсирини аниқлаш.