Даража:
Олий таълим
Тури:
Битирув малакавий иши
Муаллиф:
Юсупов Феруз Рустамович
Нашр этилган йили:
2018
Яратилган вақти:
03.09.2023
Кремний асосидаги кўпқатламли металл-диэлектрик-яримўтказгич (МДЯ) структуралар ҳозирги вақтда кўплаб яримўтказгич асбоблар ва қуёш элементларининг асоси сифатида кенг қўлланилмоқда. Ушбу асбоблар сифатли, стабил ва ташқи таъсирларга чидамли ишлашида яримўтказгич-диэлектрик чегарасининг
характеристикаларини ўрганиш муҳим ўрин тутади. адқиқот Al – SiO2 – n-Si турдаги МДЯ-структураларнинг асосий параметрларинианиқлашдан иборат. Тадқиқотмақсадини амалга оширишда МДЯ структуралархарактеристикаларини ўлчаш,параметрлариниҳисоблаш ва ушбу структураларни ташқи омилларга чидамлилигини ўрганиш режалаштирилди.