Тадқиқотнинг мақсади кремнийда кимёвий элементлар даврий системасининг I, III-V гуруҳ ва 3d ўтиш элементларининг киришма атомлари диффузиясининг асосий параметрларининг эмпирик маълумотларни ва энг кичик квадратлар усули ёрдамида қайта ишлаш билан аниқлашдан иборат.