Daraja:
Oliy o‘quv yurtidan keyingi ta‘lim
Turi:
Avtoreferat
Muallif:
Донаев Сардор Бурханович
Nashr etilgan yili:
2017
UDK raqami:
537.533.7.8
Yaratilgan vaqti:
03.09.2023
Тадқиқотнинг мақсади Pd–Ba, CoSi2 ва GaAs юза қатламларининг кичик энергияли ионлар имплантацияси ва кейинги термик ва лазерли ишлов беришда модификацияланган механизмларнинг ҳамда наноўлчамли тузилмалар ҳосил бўлишининг ўзига хос хусусиятларини комплекс ўрганишдан иборат.